儀器采用當代的電子技術，儀器全部由微處理器控制。所有控制板上均裝有微處理器，分別控制進樣器、光譜室真空、溫度、探測器、X光管及發生器、水冷、測角儀等，每隔幾秒監測儀器的兩百多個狀態點，發現問題及時報警。降低電源消耗、增加X光管壽命的綠色模式。即當儀器要停止工作1小時或數小時時，X光管的電源在規定時間內自動減小到一種待機狀態，當用戶開始工作，所要求的工作條件會自動到達。

　　下面我們來看看進口X射線熒光光譜儀該如何維護保養：

　　1、探測器性能一般用波高分布曲線的半寬高來衡量，若半寬高增大則說明分辨能力下降，檢測器品質變壞。

　　2、真空系統是X射線熒光光譜儀的重要組成部分。對于真空泵，主要是應該定期檢查真空泵油的油質和油量，檢查油質時如果有白色或黑色，就說明油質不正常，應該立即更換泵油。

　　3、進口X射線熒光光譜儀中昂貴的部分是高壓 X射線光管，它是儀器的核心部件。X射線光管對冷卻水的溫度、壓力、電導率都有嚴格的要求，其佳冷卻水溫為 22℃～24℃，一般不能超過 30℃，超過 35℃則使用壽命會大大降低。內部循環水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內部循環水為電導率很低的去離子水（必須保證該冷卻水的電導率＜2 μs／cm），以防高壓擊穿導致 x射線光管損壞。

　　4、分光晶體是具有把 X 射線熒光按波長順序分開成光譜作用的晶體。影響分光晶體穩定性的因素有：溫度、濕度、酸堿度等。